抽象的な
スパッタリングされた薄膜圧力センサーは、さまざまなアプリケーションで圧力を測定および監視するために使用されるデバイスです。この記事では、その実用的な原則、利点、およびそれと厚いフィルムテクノロジーの違いについて説明します。
スパッタリング薄膜圧力センサー
スパッタリング薄膜圧力センサー従来のセンシングテクノロジーよりも利点があるため、非常に人気を博しています。
その将来は、進行中の研究開発の取り組みで有望です。継続的な進歩により、彼らは、航空宇宙、船舶、鉄道輸送、自動車電子安定システム（ESP）および電子油圧ブレーキシステム（EHB）およびディーゼル高圧コモンレールおよびその他のフィールド、特にクレーン、クレーン、農業用マッキンなどの車両などの車両などの幅広い産業でますます重要な役割を果たすことが期待されています。
将来的には、コンパクトサイズ、統合、デジタル、インテリジェントなパフォーマンスの特徴で進化することが期待されています。
スパッタリング薄膜圧力センサーの動作原理
スパッタリング薄膜圧力センサーの利点
断熱膜と基質以来、敏感なフィルムと絶縁フィルムは、高い真空環境に直接一緒に堆積します。フィルムの層間は、原子力によって組み合わされており、これにより、接着テープによって引き起こされるクリープの効果が排除されます。これに基づいて、スパッタ薄膜圧力センサーは次の点で顕著です。
- 高精度。スパッタリング堆積技術により、正確な厚さ制御を備えた薄膜を作成できます。これにより、非常に敏感で正確な圧力センシング要素の製造が可能になります。そして、それは優れた再現性と高い信頼性を持っています。
- 漏れなく、高強度の振動、衝撃、腐食に強く耐性があります。薄膜圧力センサーは、レーザー溶接またはプラズマ溶接によって全体に溶接されるため、敏感なコアボディとステンレス鋼の圧力ジョイントが溶接されます。したがって、スパッタリングされた薄膜圧力センサーには、「O」ゴムシールはありません。シリコンオイルの充填はなく、圧力媒体は腐食耐性のステンレス鋼に敏感なコアに直接作用します。この製品は、高強度の振動と衝撃に耐えることができ、漏れの危険はまったくありません。
- 良好な温度特性。薄膜圧力センサーは、半導体プロセス技術とレーザー抵抗トリミングテクノロジーを採用しています。たとえば、{-40程度…125度など、広い温度範囲で動作でき、-55…150度のカスタマイズをカスタマイズできます。
- 高周波応答。圧力媒体は腐食耐性ステンレス鋼に敏感なコアに直接作用するためです。横隔膜と充填液はありません。したがって、測定は現実的であり、周波数応答が高くなります。
- 小型。センサーはコンパクトで耐久性があります。限られたスペースが残っているアプリケーションでは、センサーが課題に対応しています。
注意すべきことの1つは、薄膜センサー要素とポート材料の間の結合が不十分であり、持久力の圧力サイクリング中に早期のコンポーネントの故障につながる可能性があることです。高価なスパッタリング機器とクリーンルームが必要です。したがって、相互汚染を回避し、したがって高いプロセスの安定性を維持するために、適切な分離で植物を操作することができます。 MacSensorが作成します。
深刻なキャビテーション、ハンマー現象、高ピーク圧、大きなパワー変動、大きな振動干渉、および建設機械の油圧システムにおけるその他の過酷な環境など、業界で一般的な問題に基づいて、スパッタリング薄膜圧センサーを設計および製造しています。当社の製品は、これらの労働条件の要件を完全に満たすことができます。
厚いフィルムセンサーと薄膜センサーの違い
厚いフィルムセンサーと薄膜センサーの違いは、使用される抵抗層の厚さにあります。薄膜センサーの厚さは0。1マイクロメートル以下ですが、厚いフィルムセンサーは薄膜の対応物よりも数千倍厚いです。
それらは、抵抗フィルムを基板に適用する方法が異なります。薄膜抵抗器は、絶縁基板上に真空下で堆積した金属膜を特徴としています。対照的に、厚いフィルム抵抗器は、金属酸化物とガラスで構成される特殊なペーストを基板に発射することによって作成されます。
薄膜センサーは、より高い精度、温度係数の改善、安定性の向上など、顕著な利点を提供します。厚いフィルムセンサーは、より費用対効果が高いため、高い要件が重要ではないアプリケーションに好まれます。